
| 
				 位號(hào)  | 
			
				 設(shè)備  | 
			
				 介質(zhì)  | 
			
				 壓力  | 
			
				 溫度  | 
			
				 流量  | 
		|
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				 V-2133  | 
			
				 羅茨液環(huán)真空泵  | 
			
				 EPC-90%w, 水-10%w  | 
			
				 5 Torr  | 
			
				 35℃  | 
			
				 13 kg/h  | 
			
				 764 m3/h  | 
		
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				 V-2157  | 
			
				 羅茨液環(huán)真空泵  | 
			
				 甲苯-72%w, 水-28%w  | 
			
				 5 Torr  | 
			
				 35℃  | 
			
				 13 kg/h  | 
			
				 1167 m3/h  | 
		
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				 前級(jí)液環(huán)  | 
			
				 2BV6.131  | 
			
				 2BV6-161  | 
		
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				 一級(jí)羅茨  | 
			
				 DVB550  | 
			
				 DVB720  | 
		
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				 二級(jí)羅茨  | 
			
				 DVB1000  | 
			
				 DVB1500  | 
		
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				 最大抽速  | 
			
				 1000 m3/h  | 
			
				 1500 m3/h  | 
		
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				 極限壓力  | 
			
				 25 Pa  | 
			
				 25 Pa  |